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电子束光机束斑和束流的测量
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摘要
介绍了电子束曝光机束斑和束流的检测才测量放大电路的设计,讨论了了放大电路的低漂移和高抗干扰性能的保证措施。
作者
陈振生
杨立才
出处
《电子与仪表》
1997年第2期16-19,共4页
关键词
束斑
束流
刀口法
测量放大电路
电子束曝光机
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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电子与仪表
1997年 第2期
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