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含氢类金刚石膜沉积过程的分子动力学模拟 被引量：8

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摘要 含氢类金刚石膜(diamond-like carbon,DLC)的超低摩擦特性与其沉积制备过程密切相关.采用分子动力学模拟的方法,计算了以CH3基团为沉积物,在多种不同入射能下制备含氢DLC膜的动力学过程.通过沉积原子数统计分析、薄膜密度和sp杂化分析考察了含氢DLC膜的结构特性.通过比较模拟结果,发现随着入射轰击能量的增加,含氢类金刚石膜中碳的含量总体上呈现增加的趋势;在含氢DLC膜中所沉积的氢原子数存在峰值,峰值前后变化趋势相反,大于80eV以后趋于饱和与稳定,薄膜相对密度也随之增加,达到50eV时趋于稳定值;膜中碳原子比氢原子具有更强的成键能力,易与基底发生化学吸附;沉积源基团的氢含量决定生长成膜以后的薄膜氢含量,沉积源基团中的氢含量高,则所生长薄膜的氢含量高.
作者 张宇军 董光能 毛军红 谢友柏
机构地区 西安交通大学润滑理论及轴承研究所
出处 《科学通报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第23期2813-2817,共5页 Chinese Science Bulletin
基金 国家自然科学基金(批准号:50575173)资助项目
关键词 含氢类金刚石膜 分子动力学模拟 入射能
分类号 O484 [理学—固体物理]
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参考文献11

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二级参考文献12

共引文献19

同被引文献35

引证文献8

二级引证文献17

科学通报
2007年 第23期

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