微型振动陀螺仪

下载PDF

导出

摘要用Ｓｉ表面微机械加工技术制作了一种具有４００μｍ×８００μｍ薄多晶硅谐振器的振动微型陀螺仪。陀螺仪受静电力的作用进行横向驱动，并检测谐振器与衬底之间电容变化的输出信号。０．１帕压力下获得的多晶硅谐振器驱动模和检测模的机械Ｑ值分别为２８００和１６０００。介绍了调整驱动模和检测模谐振频率变化差的有效方法。试验器件的噪声等效速率为７°／ｓ。

出处《半导体情报》 1997年第4期55-57,22,共4页 Semiconductor Information

关键词微型振动陀螺仪谐振器

分类号 TN751.2 [电子电信—电路与系统] V254.554 [一般工业技术—材料科学与工程]

引文网络
相关文献

1振动陀螺仪偏振调整方法[J].国外传感技术,2003,13(6):224-224.
2Sala.,BD,王哲.用于制导和汽车工业的低成本振动陀螺仪[J].惯导与仪表,1999(4):6-12.
3张昌松,雷春耀.有限元法在压电振动陀螺仪研究中的应用进展[J].电子元件与材料,2014,33(10):7-11. 被引量：1
4YAN Yang LIU Sheng Gang LI XiaoYun FU WenJie YUAN XueSong.Design and demonstration of a 0.22 THz gyrotron oscillator[J].Chinese Science Bulletin,2009,54(9):1495-1499. 被引量：7
5王佩红,杜和军.基于双ZnO薄膜单元并联结构的微型压电振动能量采集器(英文)[J].纳米技术与精密工程,2013,11(4):309-313.
6XI Xiang,WU Xuezhong,WU Yulie,ZHANG Yongmeng.Modeling and Analysis of Mechanical Quality Factor of the Resonator for Cylinder Vibratory Gyroscope[J].Chinese Journal of Mechanical Engineering,2017,30(1):180-189. 被引量：5
7秦立振,苏宇锋,刘武发.抗磁悬浮能量采集器结构参数对输出特性影响[J].电子测量与仪器学报,2016,30(9):1438-1443. 被引量：7
8赵兴强,温志渝.基于压电材料的振动能量收集器的谐振频率调节[J].压电与声光,2013,35(2):241-244. 被引量：15
9Dance,B,叶世雄.由压是陶次瓷元件构成的微型陀螺仪[J].上仪情报,1994(1):7-9.
10FU WenJie YAN Yang LI XiaoYun YUAN XueSong LIU ShengGang.Generating 0.42 THz radiation from a second harmonic gyrotron[J].Chinese Science Bulletin,2011,56(33):3572-3574. 被引量：5

半导体情报

1997年第4期

浏览历史

内容加载中请稍等...

微型振动陀螺仪

相关作者

相关机构

相关主题

浏览历史