摘要
固态氧敏传感器采用Si/LaF3/Pt场效应结构（[1.2]）,因老化使长期稳定性变差.为此本文讨论了四方面内容:1.固体电解质膜LaF3的制备;2.对LaF3膜退火多晶化处理,以及表面特性的改善措施;3.有关LaF3膜退火多晶化及活化处理技术参数;4.传感器特性的研究.并对这种室温氧传感器用做生物传感器的可能性也作了讨论.
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
1997年第3期57-64,共8页
Chinese Journal of Sensors and Actuators
基金
国家自然科学基金项目
