氮化-气相沉积硬质薄膜复合处理技术与应用被引量：3

Combined treating of nitrizing and gaseous depositing hard film

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摘要本文介绍了氮化－气相沉积硬质薄膜复合处理技术的原理和特性，综述了国外此项技术的研究进展与应用。

作者谢飞何家文马宝钿

机构地区西安交通大学

出处《机械工艺师》 CSCD 1997年第7期29-30,共2页 Machinery Manufacturing Engineer

关键词气相沉积硬质薄膜氮化复合处理

分类号 TG156.82 [金属学及工艺—热处理]

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机械工艺师

1997年第7期

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