Fz115型区熔炉的设计及特点

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摘要 Fz115型区熔炉是八十年代末设计用于生产区熔单晶硅，有八十年代初国际先进水平的炉子。本文着重介绍该炉的技术性能，主要机构的设计，动作原理及其结构特点等。

作者陈应斗

机构地区北京有色冶金设计研究总院

出处《有色设备》 1997年第4期11-14,共4页 Nonferrous Metallurgical Equipment

关键词单晶硅区熔炉晶体夹持器

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有色设备

1997年第4期

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