国内首台自主知识产权直写式光刻机将在肥面世

日前，从位于合肥市经济开发区的芯硕半导体（合肥）有限公司传来消息，国内首台具有世界领先水平、拥有自主知识产权的直写式光刻机即将在合肥面世．标志着我国亚微米级光刻机完全依赖进口的局面将被打破。