MEMS在医疗领域中的应用

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摘要微电子机械系统MEMS从80年代开始应用于医疗领域,其中产生了各种硅压力传感器和硅加速度计,以及一些自定义的特殊微结构.这些产品具有比其它类型的产品更多的优势,如体积小、性能稳定,且价格便宜,同时用来进行硅电子元件生产的大多数晶片加工仪器都可以用来生产这种硅传感器.由于医疗所需的传感器要特别可靠,而硅有着近乎完美的弹性且不会产生长时间蠕变,这使其特别适于医疗应用.

出处《传感器世界》 1997年第7期15-18,26,共5页 Sensor World

关键词 MEMS 传感器医疗器械硅压力传感器

分类号 TH770.32 [机械工程—精密仪器及机械] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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1段振新.硅压力传感器的温度补偿方法[J].黑龙江电子技术,1991(1):12-16.
2刘树春,何素清,白玉新.因特网上的医疗器械信息资源[J].中国医疗器械杂志,2000,24(2):109-112. 被引量：1
3王军,阎承斌,沈正海,杨军.有机玻璃在医疗领域中的应用与注意事项[J].医疗装备,2008,21(1):17-18. 被引量：4
4王贵华,庄继胜.硅压力传感器的封装技术[J].黑龙江电子技术,1990(4):21-25.
5刘哲.数据技术在医院信息管理系统中的运用[J].电子技术与软件工程,2016(18):192-192.
6陈治光.首届中国医疗器械投资发展论坛召开[J].科技潮,2009(6):42-42.
7孟涛.硅压力传感器的三维微细加工[J].仪表技术与传感器,1991(1):34-36.
8高性能通用8位单片机系列[J].国外电子元器件,2007(4):52-52.
9马琳.嵌入式系统在医疗器械中的应用[J].山东工业技术,2016(8):224-224. 被引量：3
10李飙,任艺.单片机应用系统的抗干扰技术研究[J].职业时空,2008,4(1):107-107. 被引量：2

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