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片子步进机发展趋势

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摘要片子步进机发展趋势本刊编辑部光刻既是晶片加工的主要成本因素（约占晶片全部加工成本的３５％），又是增加电路功能特性的驱动技术，同时，也是半导体工业进步的决定性技术。因此，在技术规划和投资中，光刻一直占踞着十分显要的位置。用于ＩＣ图形转印的光刻技术，一直...

出处《电子工业专用设备》 1997年第2期1-4,11,共5页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词光刻片子步进机晶片加工半导体

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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电子工业专用设备

1997年第2期

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