DSW投影物镜的温控系统被引量：1

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摘要ＤＳＷ投影物镜的温控系统王继红（中国科学院光电技术研究所四川双流６１０２０９）１引言分步投影光刻机是集成电路专用设备中的关键设备。随着光刻精度的提高，光刻机对环境的要求也越来越高，如对环境温度、压力、振动、洁净度等。虽然光刻机工作在超净恒温的环境下，...

作者王继红

机构地区中国科学院光电技术研究所

出处《电子工业专用设备》 1997年第2期33-35,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词光刻机 DSW投影物镜温控系统半导体设备

参考文献1

电子工业专用设备

1997年第2期

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