片簧式弹性导轨副微补偿台系统的动态特性分析

通过对ＢＧ１０２分步光刻机微补偿台结构的介绍，从控制的角度分析了该结构的动态性能，并提出了几种改善动态性能的途径，以使微补偿台能够准确精密的定位。