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300mm 片子步进机的流片率

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摘要３００ｍｍ片子步进机的流片率ＮＩＫＯＮ公司第一设计部ＩＣ＆ＬＣＤ设备分部ＨｉｄｅｍｉＫａｗａｉ１前言就在１９９３年年底时，半导体产业界还很难决定继２００ｍｍ片子之后，下一代片子的主角究竟是由３００ｍｍ片子承担，还是由４００ｍｍ片子直接承担。这一选择直...

作者 Kawai.,H 董表义

出处《电子工业专用设备》 1997年第3期56-59,共4页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词步进机流片率曝光设备

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]

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7Dieter Burggraaf,童志义.VLSI制造中片子步进机镜头的选择[J].电子工业专用设备,1989(2):51-57.
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电子工业专用设备

1997年第3期

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