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利用等色干涉原理测量薄膜厚度 被引量:1

Using theory of isochromatic interference measure film thickness
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摘要 文章讨论了等色干涉的原理,并利用该原理给出测量介质厚度的方法. In this paper, we study theory of isochromatic interference ,and give a way about using this theory to measure film thickness.
作者 魏秀芳
机构地区 西北师范大学
出处 《甘肃高师学报》 2007年第5期31-32,共2页 Journal of Gansu Normal Colleges
关键词 等色干涉 薄膜厚度 Isochromafic interference film thickness.
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