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梅特勒-托利多致力于电阻率和电导率测量技术的革新
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摘要
在电子半导体行业中,需要大量的超纯水来清洗晶片,即使水中含有微量杂质也会影响产品质量,使得晶片上的超微结构遭到破坏,因而用户对可靠而精确的超纯水测量仪器的需求也日益增长。
作者
王欣
出处
《工业水处理》
CAS
CSCD
北大核心
2007年第12期I0001-I0001,共1页
Industrial Water Treatment
关键词
测量技术
电导率
电阻率
革新
半导体行业
超纯水
产品质量
微量杂质
分类号
TQ085 [化学工程]
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工业水处理
2007年 第12期
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