微小光学元件的镀膜

现代光学和其他领域一样,都需解决微型化的问题,其目的是更好掌握和利用光,使其作为信息的载体。薄层干涉镀膜由于其厚度小应用广,非常适用于小型光学元件。但是它的应用并不理想,有以下几方面技术原因:很小光学面(如光导纤维)的真空镀膜,要求纯净度很高。