用于微型硅继电器的新型执行机构

用于长途通信和测量技术这类弱电线路的继电器,其发展不断趋于微型化。另外,由于采用了微细加工工艺,结构的尺寸将在不远的将来可缩小到微米级。1978年Petersen已经使用了静电驱动的微型继电器,Hannoe等人利用了微技术制作的继电器元件,连接在100mA负载电流的电路。微继电器的接触腔体是用化学惰性材料制成的,并与外界密封。所以可得出以下结论:微型继电器的触点,在其整个使用期间不得有绝缘的污层。在这种特殊条件下,稳定接触闭合的接触力为0.5至0.9mN;而在常规继电器中最低限度要求20mN。