用CVD法镀覆的保耐磨护层

用CVD法化学蒸镀硬质材料经过最近几年的发展已获得重要应用。由TiC、TiN或Al_2O_3组成的硬质材料涂层作为硬质合金工具的耐磨保护层就是著名的例子。本文将介绍工艺流程。