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金刚石的气相合成及其应用

Gas Phase Compoitison Technology and Application of Diamond
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摘要 叙述了金刚石的特性,介绍了最近研究的几种气相合成金刚石方法。 The paper expounds property, several new gas phase composition technology of diamond and gives out the application of the diamond film in industry.
出处 《沈阳工业大学学报》 EI CAS 1997年第3期28-30,共3页 Journal of Shenyang University of Technology
关键词 金刚石 薄膜 气相合成 CVD diamond film gas phase composition application
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