摘要
叙述了金刚石的特性,介绍了最近研究的几种气相合成金刚石方法。
The paper expounds property, several new gas phase composition technology of diamond and gives out the application of the diamond film in industry.
出处
《沈阳工业大学学报》
EI
CAS
1997年第3期28-30,共3页
Journal of Shenyang University of Technology
关键词
金刚石
薄膜
气相合成
CVD
diamond
film
gas phase composition
application