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Veeco推出最新INSI GHT三维原子力显微镜为45nm以下工艺带来高效精准测量技术
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摘要
Veeco Instruments公司宣布推出最新In—Sight 3D自动原子力显微镜(AFM)平台,为45nm和32nm的半导体工艺带来了非破坏性、高分辨率的快速测量方法。InSight 3DAFM专为量产环境中关键尺寸(CD)、厚度和CMP的测量而设计。
出处
《中国集成电路》
2008年第1期7-7,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
原子力显微镜
半导体工艺
测量技术
Instruments公司
三维
快速测量方法
非破坏性
高分辨率
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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中国集成电路
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