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沈阳芯源匀胶显影系列国产率达70%推出国内首台12英寸后道封装匀胶机

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摘要 沈阳芯源微电子设备公司自主创新研制的匀胶显影设备于近日顺利通过了辽宁省经委组织的新产品鉴定。匀胶显影设备是集成电路制造的关键设备之一。一直以来国内所需的中高端集成电路设备被国外产品所垄断。
出处 《中国集成电路》 2008年第1期10-10,共1页 China lntegrated Circuit
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