KLA-Tencor推出Aleris 8500薄膜测量系统 提供业界最先进的45nm及以下节点厚度与成分测量技术

据报道，KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜测量设备，此系列由Aleris 8500开始，是业界第一款同时结合多层薄膜厚度与成分测量的专业量产型设备。其他Aleris系列产品将在未来几个月内以不同配备组合推出。