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KLA-Tencor推出Aleris 8500薄膜测量系统 提供业界最先进的45nm及以下节点厚度与成分测量技术
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摘要
据报道,KLA-Tencor推出Aleris系列薄膜测量设备,此系列由Aleris 8500开始,是业界第一款同时结合多层薄膜厚度与成分测量的专业量产型设备。其他Aleris系列产品将在未来几个月内以不同配备组合推出。
出处
《中国集成电路》
2008年第1期37-37,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
薄膜厚度
成分测量
测量系统
测量技术
KLA
下节点
测量设备
成本控制
分类号
TP274 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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中国集成电路
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