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日矿金属开发出直径为450mm的多晶硅测试晶圆

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摘要 日矿金属宣布,该公司已在矶原工厂成功开发出了直径为450mm的搬运测试晶圆,将于2008年以后正式开始销售。
出处 《机电工程技术》 2007年第12期8-8,共1页 Mechanical & Electrical Engineering Technology
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