摘要
硅晶体线切割的加工过程中,切割线振动的产生严重影响着晶体工件的加工精度和质量以及切割线的寿命。本文介绍了当前研究切割线振动的主要方法及主要成果,并建立了切割线的运动方程,分析了磨粒对切割线的激励,通过模态分析得出系统的响应函数。
During the manufacturing process of wiresaw cutting,the vibration of the wire gravely influenced the quality of me product and the life of the wire.This paper introduces the main research method on the vibration of the wire,sets up the dynamic function of the wire,analyzes the stimulant from the grit to the wire,and then gets the response function of the system according modal analysis.
出处
《机电工程技术》
2007年第12期32-34,75,共4页
Mechanical & Electrical Engineering Technology
基金
广东省自然科学基金项目(编号:5001807)
广东省科技计划项目(编号:2005B10201019)
关键词
线切割
振动
响应
wire saw
vibration
response
