改进工艺的1000A/2500V逆阻型GTO

论述了１０００Ａ、２５００Ｖ大功率逆阻型可关断晶闸管（ＧＴＯ）的基本设计原则，给出了主要工艺特征和元件的开关特性。采用改进的扩散工艺、掺氯氧化（ＴＣＥ）、高能电子辐照技术和湿法凹槽门极挖槽技术，使逆阻型ＧＴＯ的参数折衷和少子寿命分布达到了最佳化，从而获得了具有优良开关特性的ＧＴＯ元件。