扫描电子显微镜飞速发展的25年

扫描电子显微镜(Scanning electrong microscope,简称 SEM),自1965年英国推出第一台商品电镜至今不过25年,在这不太长的时间里扫描电镜的发展速度是十分惊人的,其性能日臻完善,种类越来越多,应用范围也日渐扩大,在显微镜的家族中可谓兴旺发达。诚然,扫描电镜在显微镜家族中出现较晚,但它具备许多特点,比如图象景深大。