微型机器人的发展动向

微型机器人的最基本的部件是微型机电系统。它由微型传感器、作动器、微型开关、微型电机、微电子器件等组合到一块硅片上,用不锈钢、钛、玻璃、塑料等材料封装而成。它可以感应外界温度、压力、加速度。