摘要
为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。
The latest progress of high vacuum dry pumps, working against atmosphere, was tentatively reviewed. The discussions focused on the pumping mechanisms, its structures and performance of the two types of commercially available, EPX and On Tool dry pumps, produced by Edwards and Pfeiffer, respectively.
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第1期21-25,共5页
Chinese Journal of Vacuum Science and Technology
关键词
干式真空泵
高真空
直排大气研究进展
Dry vacuum pump, High vacuum, Discharge directly into atmosphere, Latest progress
