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华飞微电子:国产高档光刻胶的先行者
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职称材料
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摘要
光刻胶是集成电路中实现芯片图形转移的关键基础化学材料,在光刻胶的高端领域。技术一直为美国,日本厂商等所垄断;近年来,本土光刻胶供应商开始涉足高档光刻胶的研发与生产,苏州华飞微电子材料有限公司就是其中一家。
作者
王志华
出处
《集成电路应用》
2007年第11期15-15,共1页
Application of IC
关键词
微电子材料
光刻胶
高档
先行者
国产
化学材料
图形转移
集成电路
分类号
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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集成电路应用
2007年 第11期
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