ASML选择Cymer公司EUV光源

伴随着大量的新闻发布，Cmer公司在SEMICON West2007期间宣布其在极紫外线（EUV）光刻光源上的成功。光刻设备供应商ASML已经选择Cymer公司的极紫外线光源用于量产设备，并签署了一份长达多年的多项目协议，计划在2008年底首次供货。