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马达驱动探针台
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摘要
300J是一款由马达驱动,控制杆操纵,用于300mm晶圆应用的探针台。该系统采用马达驱动来实现对探针台、倾角、平面和显微镜的手动控制。该探针台的特点是精选的动态高、低速范围,可以提供高分辨率的精确定位和对300mm范围的快速扫描。
出处
《集成电路应用》
2007年第11期56-56,共1页
Application of IC
关键词
马达驱动
探针台
300MM晶圆
手动控制
快速扫描
精确定位
高分辨率
控制杆
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TM303 [电气工程—电机]
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集成电路应用
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