马达驱动探针台

300J是一款由马达驱动，控制杆操纵，用于300mm晶圆应用的探针台。该系统采用马达驱动来实现对探针台、倾角、平面和显微镜的手动控制。该探针台的特点是精选的动态高、低速范围，可以提供高分辨率的精确定位和对300mm范围的快速扫描。