HP二极管激光器

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摘要 LIM0350-L12x0．1-DL808-EX420激光器主要用于玻璃基板上的高效薄膜太阳能电池的制造。该激光器的两个主要特征是大功率密度和光斑范围内均匀的功率分布。这样的特性可以用在非晶硅种子层工艺上，也可用于晶体硅的生长。

出处《集成电路应用》 2007年第11期56-56,共1页 Application of IC

关键词二极管激光器薄膜太阳能电池 HP 玻璃基板功率分布功率密度种子层非晶硅

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集成电路应用

2007年第11期

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