第十六讲 真空系统的操作与维护

1真空系统的组成 1．1真空系统的型式 用于满足某种工艺要求，能够获得并测量有特定要求真空度的系统称真空系统。一个较完善的真空系统由真空室、所需的真空泵或真空机组、真空测量装置、连接导管、真空阀门、捕集器、及其它真空元件及电气控制系统构成。典型的真空系统如图1及图2所示。