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铅锡烧结全自动装片设备与工艺的研究

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摘要 本文通过对KNS6300全自动装片机铅锡烧结设备与工艺调试的探索,得到了铅锡烧结全自动装片寻找工艺最佳点的方法,提出了铅锡烧结全自动装片工艺与设备中共性问题的解决设想方案。
作者 郑志荣
出处 《微电子技术》 1997年第1期39-51,共13页 Microelectronic Technology
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