关键图形在IC版图设计中的应用研究

本文在CD7358GS关键图形设计实践的基础上，总结了旨在监测元器件特性和监控工艺能力的关键图形的设计方法，从而为分析工艺缺陷、设计容限、工艺稳定性等找到了切实有效的方法，并为进而提高成品率提供了有力的手段，这些方法可以推广到NSA工艺其他品种IC的版图设计中去。