76MHz激光扫描声学显微镜的研究和试制

描述７６ＭＨｚ激光扫描声学显微镜的研究试制工作，介绍了激光扫描声学显微镜的基本结构。测试结果表明，该显微镜的分辨率达３０μｍ，探测深度达２ｍｍ，扫描面积达３ｍｍ×４ｍｍ，并已应用于多层陶瓷电容器的无损检测。最后给出了一些样品的声学像。