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生产450mm(18英寸)硅晶圆的经济可行性——来自硅晶圆材料供应厂商的呼声 被引量:1

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摘要 根据历史数据分析,晶圆尺寸的倍增转换周期大约为11年。第一条200mm生产线投入生产的时间是在1990年。而第一条300mm生产线的投产时间是在2001年,相隔大约为11年。至于何时向450mm变换,直到2003年底ITRS2003年版定稿时产业界的人士尚未取得共同的认识。到了2005年ITRS根据在300mm生产线上的实践数据才取得共识,
作者 钟信
出处 《中国集成电路》 2008年第2期74-82,共9页 China lntegrated Circuit
  • 相关文献

参考文献5

  • 1.Executive Summary[].ITRSEdition.2007
  • 2R.Goodall,D.Fandel,A.Allan,P.Landler,and H.Huff.Semiconductor Silicon/2002[]..2002
  • 3W.von Ammon,&L.Fabry.450mm–Suppliers’Perspective[]..2000
  • 4Th.Wetzel,E.Baake,A.Mühlbauer.Energy re-quirements and ways ofsavingenergyin the production process of PV modules in Int[].Jof Solar Energy.2000
  • 5J.Ferrel,and D.Fandel.‘Next Wafer Size Consid-erations’[].SEMI Silicon Wafer Committee.2005

同被引文献4

引证文献1

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