TECAN集团研发用于下一代喷墨喷嘴的UV-LIGA技术

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摘要 TECAN集团将UV-LIGA技术成功用于下一代MEMS和微型超精密金属部件的批量生产，引起设计师和设备制造商（OEM）的关注。该项技术在微铣削、微细电火花加工及微激光技术应用方面受益匪浅。首先，如果采用分子生长工艺PEF生产微部件，可以生产出高精度、无应力、无毛刺的部件。采用微铣削和微激光技术生产部件会产生毛刺和应力，

出处《微纳电子技术》 CAS 2008年第2期123-124,共2页 Micronanoelectronic Technology

关键词 UV-LIGA技术微细电火花加工金属部件喷嘴喷墨研发批量生产激光技术

分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学] TG661 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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