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HOLLIAS-LEC G3 PLC在SiC晶体生长炉控制系统中的应用 被引量:2

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摘要 作为一种新型的半导体材料.SiC(碳化硅)以其优良的物理化学特性和电特性成为制造短波长光电子器件、高温器件、抗辐照器件和大功率/高额电子器件最重要的半导体材料。特别是在极端条件和恶劣条件下应用时.SiC器件的特性远远超过了Si器件和GaAs器件。
作者 王国锋
出处 《世界仪表与自动化》 2008年第1期42-43,共2页 International Instrumentation & Automation
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