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未来环境管理与新一代半导体工厂

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摘要在International Symposium on Semiconductor Manufacturing'96会议上,曾对新一代半导体工厂和未来环境管理问题展开讨论,现将其主要内容摘编如下。新一代半导体工厂和设备 1.

作者孟泽

出处《世界电子元器件》 1997年第8期63-65,共3页 Global Electronics China

关键词半导体工厂环境管理生产设备

分类号 TN082 [电子电信—物理电子学] X322 [环境科学与工程—环境工程]

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世界电子元器件

1997年第8期

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