微系统技术及其应用

在过去几年里,微系统技术取得了长足发展,主要有两个原因:第一是市场需求对微系统技术发展产生的巨大推动力,第二是微电子微机械加工技术的发展为微系统技术奠定了有力基础。 微系统属于高新技术,它采用不同于传统机械加工的全新工艺,它的出现将在工业界引起深刻的变化。发达国家如美、日。