MOCVD喷淋头的焊接工艺研究

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摘要喷淋头是MOCVD反应器中的关键部件,其设计和加工难度大。采用特殊的结构设计和合理工艺方法,配合加工工装和焊接夹具,选择合理的基准面和焊接参数,降低了加工难度。

作者胡晓宇彭志虹何华云王慧勇

机构地区中国电子科技集团公司第四十八研究所

出处《金属加工（热加工）》 2008年第1期42-44,共3页 MW Metal Forming

关键词 MOCVD 喷淋头焊接工艺加工难度结构设计关键部件工艺方法焊接夹具

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金属加工（热加工）

2008年第1期

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