大尺寸高性能合成石英玻璃

石英玻璃重点实验室自主研究开发的立式气相沉积高性能合成石英玻璃（JGS1）取得重大突破。现可生产φ600mm单个石英玻璃坨，重量达200公斤，可加工尺寸φ10-600mm的各类高性能石英玻璃板材，年产量2O余吨。