超大规模集成电路的重要支撑材料——超净高纯试剂

1国内外超净高纯试剂技术发展现状 超净高纯试剂（Ultra—clean and High—purity Reagents）在国际上通称为工艺化学品（Process Chemicals），美、欧和中国台湾地区又称湿化学品（Wet Chemicals），是超大规模集成电路（IC）制作过程中的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗、蚀刻，另外超净高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。超净高纯试剂的纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性均有十分重要的影响。