AMEC发布新型蚀刻与CVD设备

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摘要中微半导体设备（Advanced Micro-Fabfication Equipment．AMEC）12月正式发布了两款新产品：蚀刻装置“PrimoD—R1E”和CVD装置“Primo HPCVD”。AMEC称，两款产品均针对65nm及45nm工艺节点，比市场现有产品处理能力高出35％，因此成本理论上也可下降35％。

出处《集成电路应用》 2008年第1期14-14,共1页 Application of IC

关键词蚀刻装置 CVD设备产品处理半导体设备 CVD装置

分类号 TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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