高k材料/金属栅电极迈向大规模量产被引量：2

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摘要到了45纳米技术节点,高介电常数绝缘材料和金属栅电极将被用于制造逻辑电路器件。而采用高金属功函数和能隙工程电荷陷阱的闪存也能从这些项技术中获益。

作者 Reza Arghavani Gary Miner Melody Agustin

机构地区 Applied Materials Inc

出处《集成电路应用》 2008年第1期28-32,39,共6页 Application of IC

关键词栅电极金属高K材料模量技术节点高介电常数电路器件绝缘材料

同被引文献17

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集成电路应用

2008年第1期

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