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Ⅲ族氮化物宽带隙半导体的干腐蚀

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作者 邓志杰
出处 《有色与稀有金属国外动态》 1997年第9期1-2,共2页
关键词 Ⅲ族氮化物 宽带隙 半导体 干腐蚀
分类号 TN304.23 [电子电信—物理电子学]
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有色与稀有金属国外动态
1997年 第9期

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