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记录媒体用磁控溅射靶材
被引量:
9
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摘要
叙述了记录媒体用薄膜的种类及相关溅射靶材,以及这些靶材的制造技术和发展前景。
作者
韩雪
夏慧
王燕
施昌勇
机构地区
北京有色金属研究总院
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1997年第5期366-370,共5页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
磁光记录材料
媒体
溅射
靶材
磁控
薄膜
分类号
TQ584 [化学工程—精细化工]
TP333.4 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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