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记录媒体用磁控溅射靶材 被引量:9

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摘要 叙述了记录媒体用薄膜的种类及相关溅射靶材,以及这些靶材的制造技术和发展前景。
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第5期366-370,共5页 Chinese Journal of Rare Metals
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参考文献1

  • 1光电子材料[J]新材料产业,2002(09).

同被引文献71

引证文献9

二级引证文献75

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