摘要
文章详细介绍了洁净室主要技术指标和设计要求,讨论了其设计中需要考虑的一些实际问题和注意事项,为洁净室的设计与制作提供依据。
The article introduced the key technology and design requirements discussed some practical problems and cautions in design process and provided foundations for designing and buliding of clean room.
出处
《电子质量》
2008年第3期67-68,共2页
Electronics Quality
关键词
灰尘
洁净室
温度
湿度
Dust
Clean room
Temperature
Humidity
