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金属薄膜电阻率测量中界面势垒对电压的影响

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摘要 在金属薄膜电阻率测量中,电压的准确测量非常重要。系统的研究了影响电压测量结果的各种误差因素,并分析了界面势垒、温差电势对测量结果的具体影响方式,推翻了认为界面势垒、温差电势非常小对测量结果没什么影响的观点。通过磁控溅射法制作了多个Au膜和Cu膜,利用四探针法对其进行了电学测量。实验结果很好地验证了理论分析。
作者 张真
出处 《邯郸职业技术学院学报》 2007年第2期52-54,共3页 Journal of Handan Polytechnic College
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参考文献4

二级参考文献9

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