新型电子显微镜

日本电子公司推出电子显微镜（SEM）新产品——复合光束加工观测装置“JIB-4500”。该产品具有获取并分析表面和内部三维图像的能力，除聚焦离子束（FIB）加工和SEM观测功能外，还可利用能量分散型X射线分析装置（EDS）和电子背散射衍射（EBSD）系统进行分析。